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半导体要高精尖,设备电源得高精度、低纹波、高可靠!

更新时间:2023-12-01      点击次数:170
(一)标准导轨电源:高可靠性、EMC优异
 
  单晶硅片制造的生产环境相较于后两道工艺的要恶劣一些,生产过程中产生粉尘和废水等,因此对设备电源的可靠性,防护能力提出了更高的要求。
 
  单晶炉的电源方案可简化如下图,工厂用电给到两个主电源,一路由480W标准导轨电源给电给到控制板、显示屏、传感器等,另一路由150W机壳开关电源给电到摄像机等辅助设备。
  以标准导轨LIF480-10B24R2为例,该产品满足宽输入电压85-264VAC/120-370VDC,宽工作温度-40℃ to +70℃,高隔离耐压3000VAC,高PF值>0.99,低纹波噪声50mV等;而且具备可承受305VAC输入电压5s、体积小(48mm宽度)、保护功能齐全的优势,可应用于半导体制造等领域。
 
(二)导轨电源:高精度、低纹波
 
  经过单晶硅片制造后,进入薄膜沉积、光刻、离子注入等前道工艺。这时设备的工艺环境相对好一些,其设备电源更看重精度、纹波等参数。
 
  以光刻机为例,光刻机的电源方案如下图,工厂用电大致分两路,一路通过超大功率电源给电到照明系统,一路可用240W/480W的导轨电源给电到各分系统。
 
  240/480W电源可选用金升阳导轨LIMF系列,该系列性能强大,满足高精度、低纹波噪声的需求;而且具备150%峰值功率、ModBus通讯功能等特点。另外,其可靠性和使用寿命大幅提升,比如满足防爆认证,60℃可满载工作,提供5年质保,兼具防盐雾、5G抗震、三防漆保护等优势。
 
(三)中大功率机壳开关电源:高效低耗、高功率密度
 
  后道工艺主要包括减薄、划片、引线缝合、成塑等,设备电源可用中大功率机壳开关电源,来解决大功率、低纹波等需求。
 
  以晶圆检测设备为例,其设备电源方案可类似下图。用1个3000W电源或2个1500W电源并联升功率,给电到机柜、滑台等,再通过DC/DC模块URB2412ZP-6WR3降压到12V,再给电到后端MCU、通信模块。
 
  中大功率机壳开关电源以1500W的LMF1500-20B24来说,该产品体积小巧,功率密度高至19.18W/inch³,同时具备低功耗、高效率、高可靠性的优点。此外,还具备宽工作温度-40℃ to +70℃,主动式PFC,支持3+1并联冗余、均流,输出短路、5s恒流、过压、过温保护功能等优点,可良好用于如晶圆检测等半导体设备中。
 
(四)配套模块:配套齐全、保护功能完善
 
  半导体行业设备的电源方案不仅包括上述的导轨、壳架类供电侧电源,还包括冗余模块、UPS模块、EMC滤波器等配套模块,DC/DC模块、通信总线模块等板卡侧电源,射频电源、直流高压电源等特殊电源。
 
  金升阳在关于半导体制造设备领域里有自己的一站式电源解决方案,从前端到后端均有产品可以匹配,可为广大用户带去高精度、低纹波、EMC特性好、瞬态带载能力强,使用寿命长的优质国产电源。
 
(五)小结
 
  随着 5G 的广泛部署以及物联网时代的发展,半导体制造极其重要,电源需求日益扩大,其要求也更加严格。金升阳作为一站式电源解决方案商,致力为半导体领域用户提供更多无忧的国产电源。
 
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